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| X射線熒光（X-ray fluorescence，XRF）是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時激發出的次級X射線，是一種快速的、非破壞式的物質測量方法。X射線熒光技術可以檢測植物體內大部分元素的分布信息，植物體內某些礦質營養元素的組織分布可以反映元素的運輸和利用特點。X射線熒光顯微鏡XROS MF30可作為研究植物體內微量元素的分布和遷移特點的重要工具。 |
測量原理
試樣受X射線照射后，其中各元素原子的內殼層 ，其中各元素原子的內殼層（K，L或M層）電子被激發逐出原子而引起電子躍遷 電子被激發逐出原子而引起電子躍遷，并發射出該元素的特征X射線熒光。每一種元素都有其特定波長的特征X射線。通過測定試樣中特征X射線的波長，便可確定存在何種元素，即為X射線熒光光譜定性分析。元素特征X射線的強度與該元素在試樣中的原子數量（即含量）成比例，因此，通過測量試樣中某元素特征X射線的強度，采用適當的方法進行校準與校正，便可求出該元素在 ，便可求出該元素在試樣中的百分含量，即為X射線熒光光譜定量分析。
1.微焦X射線管2.狹縫和主過濾器更換器3. 多毛細管光學透鏡4.樣品5. XY工作臺
6.照明器7.數碼顯微鏡8.半導體能量分散探測器9.點光電二極管/ CCD10.測量室11.鏡子
主要參數
參數類型 | 參數值 |
元素范圍 | 11Na (Kа) –92U (Lа) |
能量范圍 | 1 – 40 keV |
MnKα的能量分辨率 | <140 eV, at 50 000 cps |
物體尺寸 | 0,03*0,03mm – 150*150 mm, Z軸可達10cm |
XY工作臺的精度 | 10 um |
TubeHV | till 45 kV |
最大功率 | 500 W |
自動過濾器更換器 | 鋯Zr,鈦Ti,鉬Mo,銀Ag,鋁Al,銅Cu,氯Cl |
重量 | 85kg |
尺寸 | 665х615х650mm |
技術規格
光束源 |
? X射線管：最大電壓50千伏，最大功率500瓦，陽極材料Mo，另根據要求 ? 多毛細管透鏡：具有可變尺寸的光，用于X射線波束成形束，X射線束直徑30-1000μm ? 主光束濾波器：Zr，Ti，Mo，Ag，Al，Cu，Cl |
光學電子顯微鏡 |
? 最大變焦：200х |
樣本定位和映射 |
? 攝像機選擇分析區域 ? 光學顯微鏡結合X射線探頭的軸來控制分析區域 ? 樣品和探針移動系統 2 用于選擇工作距離的自動化系統；分析單元沿Z軸移動，Z定位精度12μm 2 自動化平臺：用于XY軸對象定位和在用戶定義的樣本區域上掃描，XY定位精度10μm 2 掃描最大面積：150x150 mm 2 樣本最大尺寸：300х210х100 mm 2 樣本最大重量：1kg |
X射線熒光分析 -用于局部元素分析的能量色散半導體探測器 |
硅漂移探測器（SDD） ? 探測器在Mn Kα上的能量分辨率 :<150 eV ? 光譜范圍:1-40 keV ? 最大計數率:1 000 000 pps ? 濃度范圍:從1 ppm到100％ |
軟件 |
? 控制系統：控制微探針顯微鏡、高壓發生器模式、樣品和光束定位 ? 局部元素分析和元素映射：使用單一認證樣品進行校準；幾個標準樣品校準曲線；確定特征線的能量和強度；定性和半定量分析（基本參數法）；光譜比較和搜索光譜庫中的類似物；用戶定義的樣本區域的元素映射；光譜和映射結果存儲到數據文件；比較，減法，存儲光譜的歸一化；疊加光譜映射光學和射線照相圖像上的圖像結果；在用戶定義的樣本點進行自動分析 ? 射線照相：數字化的亮度和對比度控制；縮放；測量圖像點之間的距離 ? 記錄和數據存儲：將圖像存儲在數據庫中；保存測量結果并導出到其他Windows程序；數字化圖像記錄到外部媒體；圖像和協議打印 |
真空和冷卻系統 |
? 真空室：分析單元的組成部分，帶有真空泵，用于輕元素分析 ? 內置冷卻系統：用于X射線管 |
附加零件和配件 |
? 控制工作站：英特爾?酷睿?i7，操作系統Windows 10，RAM 8Gb，HDD 1 Tb，24英寸顯示器 ? 校準樣品 ? 備件和消耗品 |
外形尺寸 |
? 分析模塊尺寸（長хWхH）：665х615х650mm ? 重量（不含冷卻介質）：85kg |
應用案例
不同類型種子的X射線熒光成像分析：種子內鈣元素與鉀元素的分布進行了原位分析
茶葉的元素分布分析：
應用領域
廣泛應用于地質、冶金、礦山、電子機械、石油、化工、航空航天材料、農業、生態環境、建筑材料、商檢等領域的材料化 、商檢等領域的材料化學成分分析。
